圖形襯底復活技術
  • 圖形襯底復活技術
Loading...
圖形襯底復活技術
價格 : ￥
數量：



  • 產品介紹
  • 產品留言

圖形襯底復活技術


4-1.jpg

2英寸報廢樣品

4-3.jpg

2英寸復活后


4-4.jpg

4英寸報廢樣品

4-5.jpg

4英寸復活后


由于圖形化藍寶石襯底（PSS）可以有效的改善晶體生長質量并提高LED器件光萃取效率，已經成為業內LED生長的主流襯底。然而，外延生長及芯片制作中，無可避免會出現廢片現象。本公司利用高溫氣氛等技術手段，去除圖形襯底上生長的GaN外延層，從而復活圖形襯底，使之可以重新外延生長利用，為外延廠家廢片庫存問題提供解決方案。

使用復活襯底重新外延并制備的芯片測試結果顯示，芯片質量和使用正常PSS沒有差別，目前的成品率可以達到90%以上。對比效果見下表：

4-6.jpg